前段时间有个院士,啵啵的说了一大堆,意思便是咱们自己没才能做出来,现在要害的13.5nm光源搞出来了,这个光源可不是用在14nm芯片制作上的,14nm制程是193nm光源,13.5nm光源起步便是6.25纳米的,呵责屡次曝光能够完成3nm或许更先进的制程。
现在,台积电5nm制程便是用的ans13.5nm光源刻的。难怪阿斯麦CEO忧虑咱们今后再也不需要他的光刻机,现在咱们自己搞出了极紫外光源便是最好的证明了。别还不信,曾经光刻机的光源部分一向都是美国独占,现在咱们也有了。
前段时间有个吴汉民院士,说光靠一个国家,一个区域做出极紫外光刻机不现实,光刻机有10万个零部件,言下之意便是国内企业永久做不出光刻机。这厮形似专家,实则洋奴大班身世,他却不知所谓10万个零部件多数是螺丝螺栓之类的东西,他之所以说这么无脑的外行话,便是想吓唬自己。
现在看不是咱们做不出来光刻机,而是想咱们不能做出来的人太多了,呵责国产光刻机打破到10nm以内了,ASML和台积电都得凉了。